Директор департамента станкостроения и тяжёлого машиностроения Минпромторга РФ Валерий Пивень

Текущий год будет урожайным на окончание разработок. Всего планируется к завершению более 100 проектов. В частности, завершаются работы по литографу с разрешением 130 нанометров с российским эксимерным лазером. Параллельно будет готов электронно-лучевой литограф, рассчитанный под топ-норму до 150 нанометров. Также завершаются разработки различного контрольно-измерительного оборудования – от стилусных профилометров до установки контроля привносимой дефектности. Также в этом году должна быть закончена разработка фоторезиста под длины волн от 355 нм и выше. Не могу не отметить большой блок работ, который завершается в этом году по линии САПР, рассказал на форуме «Микроэлектроника 2026» директор департамента станкостроения и тяжёлого машиностроения Минпромторга РФ Валерий Вячеславович Пивень.